Vooruitgang in technologie voor extreem ultraviolet lichtbronnen

Vooruitgang in extreem ultravioletlichtbrontechnologie

De laatste jaren hebben extreem ultraviolette hoogharmonische bronnen veel aandacht gekregen op het gebied van elektronendynamica vanwege hun sterke coherentie, korte pulsduur en hoge fotonenergie, en zijn ze gebruikt in diverse spectrale en beeldvormende studies. Met de vooruitgang van de technologie is ditlichtbronDe ontwikkeling gaat richting hogere herhalingsfrequenties, hogere fotonenflux, hogere fotonenenergie en kortere pulsbreedtes. Deze vooruitgang optimaliseert niet alleen de meetresolutie van extreem ultraviolette lichtbronnen, maar biedt ook nieuwe mogelijkheden voor toekomstige technologische ontwikkelingen. Daarom is een diepgaande studie en begrip van extreem ultraviolette lichtbronnen met hoge herhalingsfrequentie van groot belang voor het beheersen en toepassen van geavanceerde technologie.

Bij elektronenspectroscopiemetingen op femtoseconde- en attoseconde-tijdschalen is het aantal gemeten gebeurtenissen in een enkele bundel vaak onvoldoende, waardoor lichtbronnen met een lage herhalingsfrequentie niet volstaan ​​om betrouwbare statistieken te verkrijgen. Tegelijkertijd zal een lichtbron met een lage fotonenflux de signaal-ruisverhouding van microscopische beeldvorming tijdens de beperkte belichtingstijd verlagen. Door voortdurend onderzoek en experimenten hebben onderzoekers veel verbeteringen aangebracht in de optimalisatie van de opbrengst en het transmissieontwerp van extreem ultraviolet licht met een hoge herhalingsfrequentie. De geavanceerde spectrale analysetechnologie in combinatie met de extreem ultraviolette lichtbron met hoge herhalingsfrequentie is gebruikt om zeer nauwkeurige metingen van materiaalstructuur en elektronische dynamische processen te realiseren.

Toepassingen van extreem ultraviolette lichtbronnen, zoals hoekopgeloste elektronenspectroscopie (ARPES), vereisen een bundel extreem ultraviolet licht om het monster te belichten. De elektronen op het oppervlak van het monster worden door het extreem ultraviolette licht in een continue toestand gebracht. De kinetische energie en emissiehoek van de foto-elektronen bevatten informatie over de bandstructuur van het monster. De elektronenanalysator met hoekresolutie ontvangt de uitgestraalde foto-elektronen en verkrijgt de bandstructuur nabij de valentieband van het monster. Bij extreem ultraviolette lichtbronnen met een lage herhalingsfrequentie, omdat een enkele puls een groot aantal fotonen bevat, worden in korte tijd een groot aantal foto-elektronen op het monsteroppervlak geëxciteerd. De Coulomb-interactie zorgt voor een aanzienlijke verbreding van de verdeling van de kinetische energie van de foto-elektronen, wat het ruimteladingseffect wordt genoemd. Om de invloed van het ruimteladingseffect te verminderen, is het noodzakelijk om het aantal foto-elektronen in elke puls te verminderen, terwijl de fotonenflux constant blijft. Dit vereist het aansturen van delasermet een hoge herhalingsfrequentie om een ​​extreem ultraviolette lichtbron te produceren met een hoge herhalingsfrequentie.

Resonantieversterkte holtetechnologie maakt de generatie van hogere harmonischen mogelijk met een herhalingsfrequentie in het MHz-bereik.
Om een ​​extreem ultraviolette lichtbron met een herhalingsfrequentie tot 60 MHz te verkrijgen, heeft het team van Jones aan de Universiteit van British Columbia in het Verenigd Koninkrijk hoogfrequente harmonische generatie toegepast in een femtoseconde resonantie-versterkingsholte (fsEC). Dit resulteerde in een praktische extreem ultraviolette lichtbron die vervolgens werd gebruikt in tijdopgeloste hoekopgeloste elektronenspectroscopie (Tr-ARPES) experimenten. De lichtbron is in staat een fotonenflux van meer dan 10¹¹ fotonen per seconde te leveren met één enkele harmonische bij een herhalingsfrequentie van 60 MHz in het energiebereik van 8 tot 40 eV. Ze gebruikten een met ytterbium gedoteerd vezellasersysteem als zaadbron voor de fsEC en controleerden de pulskarakteristieken door middel van een op maat gemaakt lasersysteemontwerp om ruis door draaggolf-envelop-offsetfrequentie (fCEO) te minimaliseren en goede pulscompressie-eigenschappen aan het einde van de versterkerketen te behouden. Om een ​​stabiele resonantieversterking binnen de fsEC te bereiken, gebruiken ze drie servobesturingslussen voor feedbackregeling, wat resulteert in actieve stabilisatie op twee vrijheidsgraden: de rondlooptijd van de pulscyclus binnen de fsEC komt overeen met de laserpulsperiode, en de faseverschuiving van de elektrische velddrager ten opzichte van de pulsomhullende (d.w.z. draaggolfomhullende fase, ϕCEO).

Door kryptongas als werkgas te gebruiken, slaagde het onderzoeksteam erin hogere-orde harmonischen te genereren in fsEC. Ze voerden Tr-ARPES-metingen uit aan grafiet en observeerden snelle thermisatie en daaropvolgende langzame recombinatie van niet-thermisch aangeslagen elektronenpopulaties, evenals de dynamiek van niet-thermisch direct aangeslagen toestanden nabij het Fermi-niveau boven 0,6 eV. Deze lichtbron biedt een belangrijk hulpmiddel voor het bestuderen van de elektronische structuur van complexe materialen. De generatie van hogere-orde harmonischen in fsEC stelt echter zeer hoge eisen aan reflectiviteit, dispersiecompensatie, fijne afstelling van de caviteitslengte en synchronisatievergrendeling, wat de versterkingsfactor van de resonantie-versterkte caviteit sterk beïnvloedt. Tegelijkertijd vormt de niet-lineaire faserespons van het plasma in het brandpunt van de caviteit ook een uitdaging. Daarom is dit type lichtbron momenteel nog geen gangbare extreem-ultraviolette lichtbron.hoogharmonische lichtbron.


Geplaatst op: 29 april 2024